ものづくり支援センター阪神：設備一覧
設備の利用及び利用料については、各センターへお問い合わせください。
高速CNC3次元座標測定装置
- メーカー
- CarlZeiss社
- 型式
- PRISMO 5 HTG VAST
- 仕様
- 各軸ストローク X700mm,Y900mm,Z500mm
（測定範囲） 約500mm立方
測定精度 E=1.9+L/300μm
複雑な3次元自由曲面を有する金型、成形物などの寸法を高精度に計測する接触式３次元座標測定機
高精度CCDカメラシステム
- メーカー
- (株)キーエンス社
- 型式
- VHX-2000
- 仕様
- 倍率：1～3,000倍
画素数：2,11万画素
ステージサイズ：171mm×168mm
試料重量：１kg以下
観察方法（照明）：落射および透過
部品形状、表面状態の拡大観察、3D形状の観察、断面形状測定、寸法の簡易測定、写真撮影が可能
原子間力顕微鏡（AFM）
- メーカー
- (株)キーエンス社
- 型式
- VN-8010
- 仕様
- 垂直分解能：0.3nm
観察範囲：（XY）200nm～200µm（Z）±10µm
モニタ倍率：250～1,250倍
微細な表面形状を高倍率で観察する。試料表面状態の超高精細観察が可能
平滑平面、超微細構造物の超高精細観察が可能
［主な構成］
1. AFM部
2. デジタルマイクロスコープ部
蛍光X線分析装置（XRF）
- メーカー
- (株)リガク
- 型式
- ZSX PrimusⅡ
- 仕様
- 分析可能元素 C（カーボン）～U（ウラン）
バルク試料サイズ φ35mm以下、10mm以上
試料形態 バルク、粉末、水溶液
材料に含まれる元素の種類と含有量を高精度に測定する。
金属､セラミックス､樹脂など幅広い素材に対応
走査型電子顕微鏡（SEM）
- メーカー
- 日本電子(株)
- 型式
- JSM-6390A
- 仕様
- 倍率：5～300,000倍
分析可能元素：Ｃ（カーボン）～Ｕ（ウラン）
分解能：3.0nm（2次電子分解能）
試料：Φ30mm以下
試料表面を大きく拡大して表面形状などを観察する。
表面や断面の異物などの化学組成、元素分析ができる。
