ものづくり支援センター播磨：設備一覧

設備の利用及び利用料については、各センターへお問い合わせください。

メーカー: 日立ハイテクノロジーズ製
型式: MicroscopeTM3030Plus
仕様: 倍率15～60,000倍
像の種類：二次電子像、反射電子像、合成像（二次電子像＋反射電子像）
エネルギー分解能：151eV（Cu-Kα）
検出可能元素：B5～U92
最大試料寸法：70mm径

精密微細加工技術、ロボット技術、ITエロクトロニクス機械金属技術、健康・医療、食品等技術、環境・エネルギー技術等に係る関連企業の材料及び製品評価ニーズに幅広く使用するもので、これらの材料の表面の微細構造や組成の解析を行う。