兵庫ものづくりセンター播磨：設備一覧
設備の利用及び利用料については、各センターへお問い合わせください。
走査型電子顕微鏡（X線分析装置付）
- メーカー
- 日立ハイテクノロジーズ製
- 型式
- MicroscopeTM3030Plus
- 仕様
- 倍率15～60,000倍
像の種類：二次電子像、反射電子像、合成像（二次電子像＋反射電子像）
エネルギー分解能：151eV（Cu-Kα）
検出可能元素：B5～U92
最大試料寸法：70mm径
精密微細加工技術、ロボット技術、ITエロクトロニクス機械金属技術、健康・医療、食品等技術、環境・エネルギー技術等に係る関連企業の材料及び製品評価ニーズに幅広く使用するもので、これらの材料の表面の微細構造や組成の解析を行う。
CNC3次元座標測定機
- メーカー
- カールツァイス社製
- 型式
- ACCURA-J 5 7/6/5 VAST-XT
- 仕様
- 測定範囲 X：700 Y：900 Z：500mm
測定精度 MPE_P=1.4+L/330μm
MPE_P=1.5μm
MPE_THP=2.3μm/50sec
精密・微細加工を行った機械部品、金型等の寸法・形状等を測定して、幾何公差、設計公差及び製品評価することができる装置。X・Y・Z軸はコンピュータ制御で、複雑な立体形状を高精度に測定する三次元測定機。
表面性状（粗さ）測定機
- メーカー
- 東京精密社製
- 型式
- サーフコム 1500-SD
- 仕様
- 測定範囲：X 100mm Z 800μm
荷重速度精度：1/100まで指示値の±0.4%
試験速度範囲：0.001～500mm/min
位置測定精度：±0.02mmまたは変位の0.05%
被測定物の表面を先端の尖った針（工業用ダイヤモンド）がなぞりその針の動き、すなわち表面の凹凸を拡大して記録するとともに、日本工業規格（JIS）に規定されている規格に基づいた解析ができる機能を有する測定機。
