スマートものづくりセンター播磨：設備一覧
設備の利用及び利用料については、各センターへお問い合わせください。
走査型電子顕微鏡（X線分析装置付）
- メーカー
- 日立ハイテクノロジーズ製
- 型式
- MicroscopeTM3030Plus
- 仕様
- 倍率15～60,000倍
像の種類：二次電子像、反射電子像、合成像（二次電子像＋反射電子像）
エネルギー分解能：151eV（Cu-Kα）
検出可能元素：B5～U92
最大試料寸法：70mm径
精密微細加工技術、ロボット技術、ITエロクトロニクス機械金属技術、健康・医療、食品等技術、環境・エネルギー技術等に係る関連企業の材料及び製品評価ニーズに幅広く使用するもので、これらの材料の表面の微細構造や組成の解析を行う。
CNC3次元座標測定機
- メーカー
- カールツァイス社製
- 型式
- ACCURA-J 5 7/6/5 VAST-XT
- 仕様
- 測定範囲 X：700 Y：900 Z：500mm
測定精度 MPE_P=1.4+L/330μm
MPE_P=1.5μm
MPE_THP=2.3μm/50sec
精密・微細加工を行った機械部品、金型等の寸法・形状等を測定して、幾何公差、設計公差及び製品評価することができる装置。X・Y・Z軸はコンピュータ制御で、複雑な立体形状を高精度に測定する三次元測定機。
